Die TDSU für Mikro- und Nanostrukturierung ist ein interdisziplinäres Team aus hochqualifizierten wissenschaftlichen und technischen Fachkräften. Unser Schwerpunkt liegt auf dem Betrieb und der Weiterentwicklung des modernen Mikrotechnologiereinraums des MPL. Wir betreiben und pflegen eine Vielzahl hochspezialisierter Geräte zur Nanostrukturierung, darunter Anlagen für optische und Elektronenstrahllithographie, Trockenätzanlagen, Beschichtungsanlagen, Elektronenmikroskope, Ionenfeinstrahlanlagen und weitere Analyseverfahren für nanostrukturierte Oberflächen. Neben der Prozessentwicklung und -optimierung zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für die Grundlagenforschung, betreuen wir internationale Wissenschaftler*innen bei ihren Arbeiten im Reinraum. Wir bieten umfassende Schulungen in der Nanoprozessierung und unterstützen bei der Durchführung komplexer Nanoprozessierungsprojekten. Die hergestellten Nanostrukturen finden Anwendung in international hochrangigen Spitzenforschungsprojekten der MPL-Departments und ihrer Kooperationspartnern. Sie umfassen verschiedenste Projekte aus Forschungsbereichen, wie integrierte Photonik, Plasmonik, Quantenoptik, Biophotonik, oder optische Metamaterialien.
Das Institut deckt ein breites Forschungspektrum ab, darunter nichtlineare Optik,