Die TDSU1 ist ein interdisziplinäres Team aus hochqualifizierten wissenschaftlichen und technischen Fachkräften. Unser Schwerpunkt liegt auf dem Betrieb und der Weiterentwicklung des hochmodernen Mikrotechnologiereinraums des MPL. Wir betreiben und pflegen eine Vielzahl hochspezialisierter Geräte zur Nanostrukturierung, darunter Anlagen für optische und Elektronenstrahllithographie, Trockenätzanlagen, Beschichtungsanlagen, Elektronenmikroskope und weitere Analyseverfahren für nanostrukturierte Oberflächen. Neben der Prozessentwicklung und -optimierung zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für die Grundlagenforschung, betreuen wir internationale Wissenschaftler*innen bei ihren Arbeiten im Reinraum. Wir bieten umfassende Schulungen in der Nanoprozessierung und unterstützen bei der Durchführung komplexer Nanoprozessierungsprojekten.
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